Im Reinraum bilden sich bei der Flammenhydrolyse von Siliziumtetrachlorid (SiCl₄) in einer Knallgas- flamme SiO₂-Nanotröpfchen höchster Reinheit. Diese Nanopartikel werden mit mehreren Brennern auf einem rotierenden Trägerrohr abgeschieden. Über mehrere Stunden entsteht im sogenannten „Sootprozess“ ein kreideförmiger, nanoporöser Körper.

Anschließend kann der poröse Sootkörper in einem Dehydrierofen getrocknet werden, um Hydroxyl- gruppen zu entfernen, die im Aufbauprozess entstehen. Danach wird der Sootkörper in einem Sinterofen zu einem transparenten Glaskörper konsolidiert.